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一、施工期生态环境保护措施
本项目属于重新报批项目，项目只需在原有基础进行环保设备安装以及调试等。由于施工期较短，施工期污染随施工期结束而消失，因此只要建设单位加强管理，本项目施工期产生的污染对周边环境影响很小，本次环评不做详细分析。
二、运营期生态保护措施
1、废气：
外延炉废气（蓝绿光）、烤盘废气（蓝绿光）：经MOCVD尾气处理装置（过滤TA001+冷却器TA002+三级氨气水吸收塔TA003）处理后通过排气筒DA001外排
外延炉废气（红黄光）：经MOCVD尾气处理装置（湿法尾气处理装置TA004）处理后通过DA002外排
烤盘废气（红黄光）经“过滤TA005+干法吸附装置TA006”处理后与经“喷淋塔TA007+干燥器TA008+活性炭吸附TA009+RCO 催化燃烧TA010”处理后的有机清洗废气，光刻废气，掀金工序有机废气，去胶清洗有机废气，涂胶废气，抛光废气，刷洗废气，备件、芯片维护有机废气一同通过DA003外排
备件清洗废气（红黄光），沉积废气，PECVD清洁废气，氢氟酸腐蚀废气，蒸镀前清洗含氟废气，ITO腐蚀液、磷酸、盐酸、硝酸腐蚀废气，粗化废气，氢氟酸、氟化铵腐蚀液、硝化酸腐蚀废气，ICP刻蚀废气：经碱液喷淋塔TA012处理后通过DA004外排（其中沉积废气，PECVD清洁废气先经燃烧处理装置TA011处理）
备件清洗废气（蓝绿光），氨水、双氧水腐蚀废气：经酸洗塔TA013处理后通过30m排气筒DA005排放
天然气锅炉废气：采用低氮燃烧器-国内领先技术，锅炉废气直接通过DA006外排
污水处理站废气：经“碱液喷淋TA014+活性炭吸附TA015”通过DA007外排
油烟废气：经“抽油烟机+油烟净化设备”处理后排放无组织-氨水储罐呼吸废气：经氨回收装置处理后排放
2、废水：
生产废水：污水处理站设有机废水处理单元、酸碱废水处理单元、含氟含磷废水处理单元、含砷废水处理单元、混凝沉淀池。有机废水处理单元处理工艺为：混凝沉淀→厌氧池→缺氧池→好氧池→二沉池→清水池，其处理能力拟为450 m3/d；酸碱废水处理单元处理工艺为：中和反应池（加入NaOH）→清水池，其处理能力拟为10 m3/d；含氟含磷废水处理单元处理工艺为：含氟废水收集池→混凝沉淀（加入CaCl2、Ca（OH）2、PAC、PAM）→清水池，其处理能力拟为250 m3/d；含砷废水处理单元处理工艺为：含砷废水收集池→氧化反应池（调节pH，加入H2O2）→混凝沉淀（加入金属盐类、PAC、PAM）→多介质过滤→清水池，其处理能力拟为120 m3/d；一般废水、研磨废水进入混凝沉淀池（加入CaCl2、PAC、PAM）→清水池，其处理能力拟为240 m3/d。生产废水经污水处理站处理达标后，通过综合废水排放口DW001排入娄底市第一污水处理厂本项目生产废水经平流沉淀池处理后通过浊环水系统循环使用，不外排。设备冷却水经冷却塔冷却后通过净环水系统回用。
生活污水：经“三级化粪池+隔油池”处理后，通过综合废水排放口DW001排入娄底市第一污水处理厂
3、噪声：采用基础减振、建筑隔声（室外噪声源采用隔声板）、加强保养等措施。
4、固体废物：一般工业固体废物：由员工收集后暂存于一般固废暂存区域（总计100m2），一般固废暂存区域位于危化品库一、危化品库二；委托处置或由厂家回收处理。危险废物：暂存于危废暂存区域（总计220m2），危废暂存区域位于危化品库一、危化品库二；定期委托有相应处理资质的单位处理。生活垃圾：委托当地环卫部门清运
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